光刻機制冷機組的種類有很多，各有各的特點，用戶需要根據使用需求選擇適合的光刻機制冷機組。那么到底有哪些光刻機制冷機組呢？

1、根據機型構造光刻機制冷機組根據冷卻方式的差異，也被分成了風冷式和水冷式。

2、冷卻介質有鹽水，乙二醇等等,也可以根據冷卻介質的不同進行分類。

3、光刻機制冷機組的壓縮機為活塞式、離心式,、渦旋式、螺桿式，我們也可以根據光刻機制冷機組壓縮機對其進行分類。此外，光刻機制冷機組的蒸發器也有很多類型，也可以根據蒸發器類型差異對其進行劃分。根據出水溫度又或是制冷原理的不同，又被分成了吸收式和壓縮式。

4、在更換的時候，需要先取下連接壓縮機排氣管和吸氣管的連接管道，由于連接冷凝器和管道距離較近，不容易從管口中取出，因此應先取下連接壓縮機排氣管和吸氣管的管道。

5、安裝四通閥閥體的時候，可以使用焊槍加熱連接四通間根部3根管道的管口，使表面剩余焊料充分熔化、流動直至掉下，使管口表面光滑，這樣能順利插入至四通閥管口。因焊接時難點在于根部的3個管道，可將連接壓縮機排氣管的管道扳到一邊，待焊接3個管口后再焊接連接壓縮機排氣管的管口。

6、由于四通間中間管道難焊接，應首先焊接中間管道，再焊接兩側管道，接著焊接連接壓縮機排氣管的管道，安裝和焊接接連壓縮機排氣管管口之后，四個接口焊接完成啦

7、安裝完光刻機制冷機組的四通閥之后，需要注意制冷系統的撿漏工作，撿漏結束再投入使用。